氣流流型和送風量
6．3．1 潔凈室的氣流流型應考慮避免或減少渦流。這樣可以減少二次氣流，有利于迅速有效地排除粒子。
對于空氣潔凈度要求不同的潔凈室（區），所采用的氣流流型亦應不同。近年在電子工廠潔凈廠房或醫藥工業潔凈廠房內，為減少建設工程造價、降低能量消耗，常常采用同時具有單向流和非單向流的混合流潔凈室，即使在微電子生產潔凈廠房中要求1級～3級的空氣潔凈度等級的生產環境也采用混合流潔凈室，即在潔凈廠房的潔凈生產區采用5級，僅在局部或微環境內采用1級～3級。根據上述情況，本條進行了新的規定，并修改為推薦性條文。
6．3．2 潔凈室（區）的送風量是確保其正常運行的基本條件，本條規定的潔凈室（區）送風量應取三項中最大值是多年來國內外的經驗總結，如果不是“最大值”，則將使建造后的潔凈室達不到所要求的潔凈度等級或環境條件達不到要求或作業人員健康得不到保障，為此，本條規定為強制性條文。
6．3．3 潔凈室送風量計算所用的數據是參照國際標準《潔凈室及相關受控環境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B．2而編制的。其中，換氣次數系根據我國實際情況確定的。
(1) 表6．3．3空氣潔凈度等級系指靜態而言。其編制理由如下：
1) 工程施工前的空氣潔凈度測試，一般都是在空態或靜態下進行的；
2) 國內外標準中大多已明確規定按靜態進行空氣潔凈度測試。如果設計時業主提出須按動態進行驗收時，則另行處理。
(2) 參照已經發布的國際標準《潔凈室及相關受控環境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO 14644-4中對微電子潔凈室、醫藥工業潔凈室的送風量的規定，以及在本規范修訂過程中對國內已投入運行的各類潔凈廠房實際運行狀況的調查研究，經分析表明，《潔凈室及相關受控環境——第四部分，設計、施工和啟動》ISO 14644-4-2001中表B．2對不同等級的潔凈室送風量、平均風速的相關數據基本合理，編寫組結合國內的實際狀況作了必要的調整，現將表B．2摘錄于表8。
表8 微電子潔凈室實例
注：1 制定最佳設計條件之前，首先應明確使用環境的ISO級別有關的占用狀態；
2 氣流流型符號的意義：U為單向流流型；N為非單向流流型，M為混合流流型（單向流和非單向流的組合流型）；
3 平均風速通常適用于單向流流型。單向流平均流速大小與被控制空間的形狀和熱氣流溫度有關。單向流流速不是指過濾器面風速；
4 單位面積送風量適用于非單向流流型和混合流流型。單位面積送風量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室；
5 在潔凈室設計中須考慮密封措施；
6 對于污染源以及污染區可用隔板或空氣幕予以有效分隔。
