空氣凈化
6．1 一般規定
6．1．1 潔凈的生產環境是生產工藝的需要，是確保產品的成品率和產品質量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經濟的發展，各行各業對生產環境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規模和超大規模集成電路的發展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB；64kB集成電路前工序生產所要求生產環境的潔凈度等級只有4級和5級，而1GB集成電路前工序生產對生產環境潔凈度等級的要求提高到1級和2級(0.1μm)。
不同的生產工藝、不同的生產工序對生產環境的要求也是不相同的，因此，確定潔凈室的空氣潔凈度等級時應根據不同工藝、不同工序對環境的潔凈度要求而定。
根據不同生產工藝、不同生產工序對環境潔凈度的不同要求，該高則高，該低則低，盡量縮小高潔凈度等級部分的面積，以局部 高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統代替全室高等級凈化的潔凈室系統。既能確保不同生產工藝對環境的要求，又能大幅度地降低初投資和運行費用。
例如：對于生產1GB超大規模集成電路前工序的潔凈室來說，在整個生產過程中只有少數工序（制版、光刻等）對環境的潔凈度等級要求最高為1級或2級，而其他大部分工序只要求5級、6級，甚至只有7級。不需將全部潔凈室都設計為1級或2級。
6．1．4 人是潔凈室內主要的發塵源，作業人員進入潔凈室必須穿著與潔凈室的空氣潔凈度等級相適應的潔凈工作服。由于潔凈工作服的透氣性較差，為了保證作業人員的工作環境，提高勞動生產率，在潔凈室生產工藝對環境的溫、濕度沒有特殊要求時，潔凈室內的溫度主要是為了作業人員的舒適。因此，潔凈室溫度冬季為20℃～22℃，夏季為24℃～26℃，濕度冬季為30％～50％，夏季為50％～70％，比較適宜。由于潔凈室（區）的溫度、相對濕度首先應按生產工藝要求確定，只有在生產工藝無要求時，才能按本條的規定根據作業人員的舒適度確定，但在本規范實施中因潔凈廠房生產的產品多種多樣，作業人員多少和工作條件也不相同，所以強制執行有困難，為此本次修訂改為推薦性條文。
6．1．5 本條為強制性條文?，F行國家標準《采暖通風與空氣調節設計規范》GB 50019中對一般工業廠房的新鮮空氣量的規定為每人每小時不小于30m³。由于新鮮空氣量是確保潔凈室（區）作業人員健康的重要條件之一，所以本次修訂中對潔凈室（區）的新鮮空氣量規定為應取補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和，保證供給潔凈室（區）內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。兩項中的最大值。
